Mikrosystemtechnik

Hochschule Anhalt | Einzelmodul

Standort & Durchführung

Köthen (Anhalt), Präsenz

Credits & Zeitaufwand

5 Credits, 20 Stunden Präsenz, 130 Stunden Selbststudium

Dozenten

Prof. Dr. Otto Kersten, Prof. Dr. Hilmar Killmey, <br />Prof. Dr. Werner Zscheyge

Sprache

Deutsch

Beschreibung

Die Studierenden kennen die prinzipiellen Grundlagen und Technologien der Mikrosystemtechnik und verfügen über ein solides Grundwissen über die wesentlichen Fertigungsprozesse sowie die Anwendung von Sensoren und Aktoren. Sie besitzen die fachliche Kompetenz, individuelle oder im Team entwickelte Strukturen zu fertigen.

Inhalt:

  • Grundlagen desMikrostrukturentwurfsmittels CAD
  • Werkstoffe der Mikrotechnik, Reinraumtechnik
  • Foto-, Elektronen-und Röntgenlithographie
  • Dünnschichttechniken:PVD-und CVD-Prozesse, galvanische Abscheidung
  • Schichtmodifikation:Oxidation, Dotierung
  • Ätztechniken:Nasschemische und Trockentechniken
  • Laser-Mikromaterialbearbeitung
  • Aufbau-und Verbindungstechniken
  • Siliziummikromechanik, LIGA-Verfahren•Untersuchung technologischer Parameter, Topographieuntersuchungen, Oberflächenanalytik
  • Anwendungen der Mikrosystemtechnik

Voraussetzungen

siehe Studiengang Bachelor Elektrotechnik

Enthalten in diesen Studiengängen (1)

Typ & Kategorie

Modul, Einzelmodul

Abschluss

ohne Abschluss

Anbieter

Hochschule Anhalt

Kontakt

Katrin Kaftan
katrin.kaftan@hs-anhalt.de

Informationen zu Fördermöglichkeiten, Bildungsurlaub, Anrechnung und Anerkennung oder Details der Partnerhochschulen finden Sie unter: www.wissenschaftliche-weiterbildung.de

Das Projekt „Wissenschaftliche Weiterbildung für KMU in Sachsen-Anhalt 2021–2022″ wird im Rahmen des Operationellen Programms aus Mitteln des Europäischen Sozialfonds und des Landes Sachsen-Anhalt gefördert. WIBKO ist Teil dieses Projektes.